[发明专利]用于与流体的体积流相互作用的MEMS换能器及其制造方法有效
| 申请号： | 201680048446.9 | 申请日： | 2016-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN107925825B | 公开（公告）日： | 2020-06-19 |
| 发明（设计）人： | 哈拉尔德·琛克;霍尔格·康拉德;马蒂厄·高德特;克劳斯·席曼茨;塞尔久·兰达;贝尔特·凯泽 | 申请（专利权）人： | 弗劳恩霍夫应用研究促进协会 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 靖亮 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于与流体的体积流相互作用的MEMS换能器包括基板和机电换能器，所述基板具有腔体，所述机电换能器在腔体与基板连接并且包括能够沿着侧向移动方向变形的可变形元件，其中，可变形元件沿着侧向移动方向的变形和流体的体积流之间存在因果关系。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 流体 体积 相互作用 mems 换能器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种用于与流体的体积流(12)相互作用的MEMS换能器，所述MEMS换能器包括：基板(14)，所述基板包括腔体(16)；机电换能器(18；18a‑f)，所述机电换能器在所述腔体(16)中连接到所述基板(14)并且包括沿着侧向移动方向(24)可变形的可变形元件(22；22a‑f；30；40；150；160)，其中，所述可变形元件(22；22a‑f；30；40；150；160)沿着侧向移动方向(24)的变形和所述流体的体积流(12)之间存在因果关系。
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