[发明专利]射频(RF)阻抗调谐操作的监控有效
| 申请号： | 201680048481.0 | 申请日： | 2016-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN107924804B | 公开（公告）日： | 2020-01-07 |
| 发明（设计）人： | 戴维·J·库莫;R·莱因哈特;Y·埃尔纳;丹尼尔·M·吉尔 | 申请（专利权）人： | MKS仪器有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 11018 北京德琦知识产权代理有限公司 | 代理人： | 梁洪源;康泉 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 射频(RF)控制系统包括具有输出RF信号的功率放大器以及控制器的RF生成器。匹配网络接收RF信号并且生成至少一个RF输出信号。在第一操作模式中，控制器能够调整RF信号的频率和匹配网络的调节元件，以实现阻抗匹配，并且在第二操作模式中，控制器能够在频率被调整至目标频率的同时，仅调整匹配网络的调节元件，以实现阻抗匹配。RF控制系统以连续模式和脉冲模式的操作进行操作。 | ||
| 搜索关键词： | 射频 rf 阻抗 调谐 操作 监控 | ||
【主权项】：
1.一种射频(RF)控制系统，包括：/nRF生成器，所述RF生成器包括以可调整的目标频率输出RF信号的功率放大器，所述RF生成器还包括控制器，所述控制器改变所述RF信号的所述频率；以及/n接收所述RF信号的匹配网络，所述匹配网络包括至少一个阻抗调谐元件，所述阻抗调谐元件根据从所述控制器传递的命令可调整，/n其中在当所述RF信号在第一目标频率处时的第一操作模式中，所述控制器能够既关于所述目标频率调整所述RF信号的所述频率又调整所述调谐元件，以改变阻抗匹配，并且在当所述RF信号正在调整至第二目标频率时的第二操作模式中，所述控制器抑制对所述RF信号的所述频率的关于所述目标频率的调整以改变阻抗匹配，并且能够调整所述阻抗调谐元件以改变阻抗匹配。/n
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