[发明专利]弹性波装置有效
申请号: | 201680048608.9 | 申请日: | 2016-06-22 |
公开(公告)号: | CN107925396B | 公开(公告)日: | 2021-06-18 |
发明(设计)人: | 岸本谕卓;大村正志;木村哲也 | 申请(专利权)人: | 株式会社村田制作所 |
主分类号: | H03H9/145 | 分类号: | H03H9/145;H03H9/25 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 朴云龙 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种利用了板波的S0模式的弹性波装置,其中,即使电极膜厚变化,也不易产生声速、频率特性的偏差。在压电薄膜(5)的第一主面(5a)上设置有具有多根电极指的IDT电极(6)。在压电薄膜(5)的第二主面(5b)上设置有导电层(8)。在弹性波装置(1)中,在压电薄膜(5)中传播的弹性波为板波的S0模式,处于所述IDT电极(6)的电极指间下方的区域的压电薄膜(5)部分比电极指以及处于电极指下方的区域的压电薄膜(5)部分变化得大。 | ||
搜索关键词: | 弹性 装置 | ||
【主权项】:
一种弹性波装置,具备:压电薄膜,具有第一主面和与所述第一主面对置的第二主面;IDT电极,设置在所述压电薄膜的所述第一主面上,并具有多根电极指;以及导电层,设置在所述压电薄膜的所述第二主面上,在所述压电薄膜中传播的弹性波为板波的S0模式,处于所述IDT电极的电极指间下方的区域的压电薄膜部分的位移大于所述电极指以及处于所述电极指下方的区域的压电薄膜部分。
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