[发明专利]自相关测量装置有效

专利信息
申请号: 201680048824.3 申请日: 2016-08-24
公开(公告)号: CN107923798B 公开(公告)日: 2020-06-23
发明(设计)人: 伊藤晴康;伊崎泰则;奥间惇治 申请(专利权)人: 浜松光子学株式会社
主分类号: G01J11/00 分类号: G01J11/00;G02F1/37
代理公司: 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 代理人: 杨琦;吕秀平
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 自相关测量装置(1A)包括第一反射部件(10A)、第二反射部件(20A)、聚光部(30)、非线性光学结晶(40)、检测部(50)、过滤部(60)、孔隙部(61)、延迟调整部(70A)和分析部(80)。入射脉冲光(L0)透过第二反射部件(20A)而入射至第一反射部件(10A)。在第一反射部件(10A)的第一反射面(11)和第二反射部件(20A)的第二反射面(22)反射的第一脉冲光(L1)以及在第一反射部件(10A)的第二反射面(12)和第二反射部件(20A)的第一反射面(21)反射的第二脉冲光(L2),经由聚光部(30)入射至非线性光学结晶(40)。由非线性光学结晶(40)产生的二次谐波光(LSH)被检测部(50)检测。由此可以实现能够小型化的自相关测量装置。
搜索关键词: 相关 测量 装置
【主权项】:
一种自相关测量装置,其特征在于,包括:第一反射部件,其具有使入射脉冲光的一部分反射的第一反射面和使该入射脉冲光中透过该第一反射面的光反射的第二反射面;第二反射部件,其具有使从所述第一反射部件出射的光的一部分反射的第一反射面和使该光中透过该第一反射面的光反射的第二反射面;聚光部,其对在所述第一反射部件的所述第一反射面和所述第二反射部件的所述第二反射面反射的第一脉冲光以及在所述第一反射部件的所述第二反射面和所述第二反射部件的所述第一反射面反射的第二脉冲光进行聚光;非线性光学结晶,其配置于由所述聚光部产生的聚光位置,通过所述第一脉冲光和所述第二脉冲光的入射而产生二次谐波光;检测部,其对所述二次谐波光进行检测;延迟调整部,其使入射至所述非线性光学结晶的所述第一脉冲光与所述第二脉冲光之间的延迟时间变化;和分析部,其基于由所述延迟调整部设定的所述延迟时间与所述检测部的检测结果的关系,求取所述入射脉冲光的脉冲宽度。
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