[发明专利]从金属板上除去抗蚀剂膜的方法及经蚀刻的金属板的制造方法在审
| 申请号： | 201680049520.9 | 申请日： | 2016-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN107924145A | 公开（公告）日： | 2018-04-17 |
| 发明（设计）人： | 佐藤正树;铃木成寿;杉田修一 | 申请（专利权）人： | 日新制钢株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司11327 | 代理人： | 温剑,陈英俊 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的目的在于提供一种使用具有较高的除去性的抗蚀剂除去液来除去包含具有磷酸酯基或羧基的树脂固化物的抗蚀剂膜的方法，并且该方法抑制抗蚀剂除去液的除去性的降低且实质上不提高抗蚀剂除去液中的磷浓度。所述方法是使配置在金属板上的、包含树脂固化物的抗蚀剂膜与抗蚀剂除去液接触，来从金属板上除去抗蚀剂膜的方法，该树脂固化物具有磷酸酯基或羧基。该方法中，抗蚀剂除去液含有苯甲醇、相对于苯甲醇的质量比为0.3以上且为2.5以下的量的水、以及表面活性剂，且实质上不含有苛性碱成分。 | ||
| 搜索关键词： | 金属板 除去 抗蚀剂膜 方法 蚀刻 制造 | ||
【主权项】：
一种方法，是使配置在金属板上的、包含树脂固化物的抗蚀剂膜与抗蚀剂除去液接触，来从金属板上除去抗蚀剂膜的方法，该树脂固化物具有磷酸酯基或羧基，其中，所述抗蚀剂除去液含有苯甲醇、相对于苯甲醇的质量比为0.3以上且为2.5以下的量的水、以及表面活性剂，且实质上不含有苛性碱成分。
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