[发明专利]基板分析用的喷嘴有效
| 申请号： | 201680050378.X | 申请日： | 2016-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN108351281B | 公开（公告）日： | 2020-02-14 |
| 发明（设计）人： | 川端克彦;李晟在;一之濑达也 | 申请（专利权）人： | 埃耶士株式会社 |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28;G01N1/32 |
| 代理公司： | 72003 隆天知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李昕巍;郑特强 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种基板分析用的喷嘴，是针对具有亲水性较大的特性的基板，即使利用分析液来扫描，分析液也不会漏出，而可确实地进行分析的基板分析用的喷嘴。本发明的基板分析用的喷嘴由双层管所构成，且具备将喷嘴主体与外管之间作为排气路径的排气装置，该双层管由吐出及抽吸分析液的喷嘴主体、及以包围要扫描的分析液的方式配设在喷嘴主体的外围的外管所构成，该基板分析用的喷嘴在外管前端的外周侧且为喷嘴的扫描方向的相反侧，配置朝喷嘴主体的前端将惰性气体喷附至与基板表面大致平行的方向的气体喷附管。 | ||
| 搜索关键词： | 喷嘴 基板 喷嘴主体 分析液 外管 分析 双层管 喷附 扫描 惰性气体 基板表面 排气路径 排气装置 扫描方向 亲水性 相反侧 抽吸 漏出 吐出 外周 平行 外围 包围 配置 | ||
【主权项】：
1.一种基板分析用的喷嘴，由双层管所构成，且具备将喷嘴主体与外管之间作为排气路径的排气装置，该双层管由吐出及抽吸分析液的喷嘴主体、及以包围要扫描的分析液的方式配设在喷嘴主体的外围的外管所构成，/n该基板分析用的喷嘴是以依据气体喷附管的管剖面积或喷附量而配置在外管前端的外周侧且为喷嘴的扫描方向的相反侧的预定的喷附位置的气体喷附管，来在基板表面以相对于所述基板表面为0度至30度的范围的喷附角度喷附惰性气体，以使惰性气体于与基板表面大致平行的方向朝喷嘴主体的前端流动，/n所述气体喷附管所喷出的惰性气体的线速度为10至30m/sec。/n
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