[发明专利]管接头、流体控制器、流体控制装置、半导体制造装置以及管接头的制造方法有效

专利信息
申请号: 201680050463.6 申请日: 2016-07-14
公开(公告)号: CN107923558B 公开(公告)日: 2019-08-27
发明(设计)人: 渡边一诚;稻田敏之;筱原努;中田知宏 申请(专利权)人: 株式会社富士金
主分类号: F16L13/02 分类号: F16L13/02;B23K9/028;F16L55/00;H01L21/3065;B23K9/035;F16L55/11
代理公司: 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 代理人: 申健
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 一种管接头,其包括:第一部件(2);第二部件(10);焊接部(8),其使第一外周端(14a)与第二外周端(10b)遍及全周地抵接,在产生横向收缩的同时使第一外周端(14a)与第二外周端(10b)接合;环状密封部分(42),其借由横向收缩使第一按压部(22)和第二按压部(28)向彼此靠近方向移动而形成;热传递抑制部件(16),其配置在第一部件(2)和第二部件(10)中的焊接部与密封部分(42)之间的空间(26)中,用以抑制焊接热从焊接部(8)向密封部分(42)的传递;以及第一卡环(36),其安装于热传递抑制部件(16)的外周面(16a),用以将热传递抑制部件(16)卡止于第一或第二部件(2)、(10)的内表面。
搜索关键词: 管接头 流体 控制器 控制 装置 半导体 制造 以及 方法
【主权项】:
1.一种管接头,其包括:第一部件,其在一端具有第一外周端,并且在所述第一外周端的内侧具有第一按压部;第二部件,其在一端具有第二外周端,并且在所述第二外周端内侧具有第二按压部;流体的流路,其形成于所述第一及第二按压部中至少任一方的内侧;焊接部,其使所述第一外周端与所述第二外周端遍及全周地抵接,并焊接抵接部位外周的至少一部分,在产生横向收缩的同时使所述第一外周端与所述第二外周端接合;环状密封部分,其借由横向收缩使所述第一按压部和所述第二按压部向相互靠近方向移动,而形成于所述第一按压部与所述第二按压部之间;热传递抑制部件,其配置于所述第一及第二部件中所述焊接部和所述密封部分之间的空间内,用以抑制从所述焊接部到所述密封部分的焊接热传递;以及第一卡环,其安装于所述热传递抑制部件的外周面,用以将所述热传递抑制部件卡止于所述第一或第二部件的内表面。
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