[发明专利]用于模拟辐射与结构的相互作用的方法和设备、量测方法和设备、器件制造方法有效
| 申请号： | 201680050508.X | 申请日： | 2016-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN107924142B | 公开（公告）日： | 2021-06-04 |
| 发明（设计）人： | R·德克斯;M·G·M·M·范卡拉埃吉;M·皮萨连科 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 张启程 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 通过从观测的衍射辐射进行的重构来测量结构(900)的参数。方法包括以下步骤：(a)限定结构模型以在二维或三维模型空间中表示所述结构；(b)使用所述结构模型来模拟辐射与所述结构的相互作用；和(c)重复步骤(b)且同时变化所述结构模型的参数。沿着所述模型空间的至少第一维度(Z)将所述结构模型划分成一系列片段(a至f)。通过划分成片段，由沿着所述模型空间的至少第二维度(X)的一系列台阶(904＇、906’)来近似至少一个子结构的倾斜面(904、906)。片段的数目可随着所述参数变化而动态地变化。使近似所述倾斜面的台阶的数目维持恒定。引入额外切割部(1302、1304)，而不引入对应台阶。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 模拟 辐射 结构 相互作用 方法 设备 器件 制造 | ||
【主权项】：
一种确定结构的参数的方法，所述结构包括多个子结构，所述方法包括以下步骤：(a)限定结构模型以在二维或三维模型空间中表示所述结构；(b)使用所述结构模型来模拟辐射与所述结构的相互作用；和(c)重复步骤(b)且同时变化所述结构模型的参数，其中为执行步骤(b)，沿着所述模型空间的至少第一维度将所述结构模型划分成一系列片段，其中，通过划分成片段，由沿着所述模型空间的至少第二维度的一系列台阶来近似至少一个子结构的倾斜面，且其中在步骤(b)的重复之间使近似所述倾斜面的台阶的数目维持恒定而片段的数目变化。
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