[发明专利]压电装置、液体喷射头、液体喷射设备及压电装置的制造方法

摘要

提供了一种压电装置，包括：基板(10)，所述基板上设置有多个凹部(12)；振动板(50)，其设置在所述基板的一个表面侧；和压电元件(300)，其设置在所述振动板(50)上方，并且在所述压电元件上自基板(10)侧层叠有第一电极(60)、压电层(70)以及第二电极(80)，其中所述第一电极(60)形成为具有第一宽度，所述第一宽度在至少一个凹部(12)的并排设置方向上比所述凹部在所述并排设置方向上的尺寸小，并且所述压电层(70)延伸到所述第一电极(60)的在所述并排设置方向上的外侧，并且所述压电层(70)具有第二宽度，所述第二宽度比所述第一宽度大且比所述凹部(12)在所述并排设置方向上的宽度小，所述振动板(50)含有氧化锆层(52)，并且当氧化锆层(52)的与具有所述第一宽度的所述第一电极相对应的区域被设定为第一区域(p)，氧化锆层(52)的与所述压电层(70)设置在所述第一区域(p)的在所述并排设置方向的外侧的区域相对应的区域被设定为第二区域(q)，并且氧化锆层(52)的与在所述第二区域(q)的所述并排设置方向的外侧的凹部(12)相对应的区域被设定为第三区域(r)时，所述氧化锆层(52)在所述第一区域(p)中在厚度方向的至少第一电极(60)侧含有粒状晶体，并且在所述第三区域(r)中含有柱状晶体。

主权项

一种压电装置，包括：基板，所述基板上设置有多个凹部；振动板，其设置在所述基板的一个表面侧；以及压电元件，其设置在所述振动板上方，并且在所述压电元件上自基板侧层叠有第一电极、压电层和第二电极，其中所述第一电极形成为具有第一宽度，所述第一宽度在至少一个凹部的并排设置方向上比所述凹部在所述并排设置方向上的尺寸小，并且所述压电层延伸到所述第一电极的在所述并排设置方向上的外侧，并且所述压电层具有第二宽度，所述第二宽度比所述第一宽度大且比所述凹部在所述并排设置方向上的宽度小，所述振动板含有氧化锆层，并且当所述氧化锆层的与具有所述第一宽度的所述第一电极相对应的区域被设定为第一区域，所述氧化锆层的与所述压电层设置在所述第一区域的在所述并排设置方向的外侧的区域相对应的区域被设定为第二区域，并且所述氧化锆层的与在所述第二区域的所述并排设置方向的外侧的凹部相对应的区域被设定为第三区域时，所述氧化锆层在所述第一区域中在厚度方向的至少第一电极侧含有粒状晶体，并且在所述第三区域中含有柱状晶体。