[发明专利]流体供应组件

摘要

本发明描述了不同类型的流体供应组件，所述流体供应组件用于输送流体到流体利用设施，例如半导体制造设施、太阳能电池板制造设施及平板显示器制造设施。所述流体供应组件包含流体供应容器及多种配置的阀头，可用于构成特性为压力调节式及/或吸附剂式的流体供应组件。

主权项

1.一种包括流体供应容器的压力调节式流体供应组件，所述流体供应容器耦合到阀头且经布置以分配压力受控气体，其中可调气体压力控制装置及分配控制组合件被安置在所述流体供应容器的内部容积中，所述分配控制组合件包括：控制器，所述控制器经配置以响应于输入的控制信号而调整所述可调气体压力控制装置；可再充电式电源供应器，所述可再充电式电源供应器经配置以对所述控制器供电；及内部磁性驱动器，所述内部磁性驱动器经配置以响应于与外部磁性驱动器的交互作用而产生电能来对所述可再充电式电源供应器充电。