[发明专利]观察装置在审
| 申请号： | 201680050985.6 | 申请日： | 2016-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN107924047A | 公开（公告）日： | 2018-04-17 |
| 发明（设计）人： | 上原诚 | 申请（专利权）人： | 株式会社目白67 |
| 主分类号： | G02B17/08 | 分类号： | G02B17/08;G01B11/06;G02B21/00;G02B21/02 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人： | 李洋,舒艳君 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明解决在椭圆偏振计等观察装置中，由等倍反射式成像光学系统成像的像的像差变大的问题。椭圆偏振计(100)具备成像光学系统(30)，该成像光学系统(30)用于使来自物体表面(S)的反射光的光束成像于受光面(40)。成像光学系统(30)包括凹面主镜(32)、凸面副镜(34)以及抽出式平面镜(36)。成像光学系统(30)由等倍反射式成像光学系统构成，该等倍反射式成像光学系统能够使来自物体表面(S)的反射光的光束按照凹面主镜(32)、凸面副镜(34)、凹面主镜(32)的顺序反射之后，经由抽出式平面镜(36)而成像于受光面(40)。凸面副镜(34)为背面镜。 | ||
| 搜索关键词： | 观察 装置 | ||
【主权项】：
一种观察装置，具备成像光学系统，该成像光学系统用于使来自物体表面的反射光的光束成像于受光面，所述观察装置的特征在于，所述成像光学系统包括凹面主镜、凸面副镜以及抽出式平面镜，并由等倍反射式成像光学系统构成，该等倍反射式成像光学系统能够使来自所述物体表面的反射光的光束按照所述凹面主镜、所述凸面副镜、所述凹面主镜的顺序反射之后，经由所述抽出式平面镜而成像于所述受光面，所述凸面副镜为背面镜。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社目白67，未经株式会社目白67许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201680050985.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：光学部件以及光照射装置
- 下一篇：扫描显微镜
