[发明专利]分束设备有效
| 申请号： | 201680051092.3 | 申请日： | 2016-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN108351443B | 公开（公告）日： | 2020-12-11 |
| 发明（设计）人： | G·C·德弗里斯;H-K·尼恩惠斯 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18;G02B27/10;G03F7/20;G02B6/293;H01S3/09 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 张启程 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种分束设备(40)，其被布置成接收输入辐射束(B)且将所述输入辐射束(B)分离成多个输出辐射束(Ba‑Bj)。所述分束设备(40)包括多个反射式衍射光栅(41‑45)，所述多个反射式衍射光栅被布置成接收辐射束且被配置成形成包括多个衍射级的衍射图案，所述反射式衍射光栅(42‑45)中的至少一些被布置成接收形成于所述反射式衍射光栅(41‑44)中的另一个处的0衍射级。所述反射式衍射光栅被布置成使得每个输出辐射束(Ba‑Bj)的光学路径包括至多一个作为非0衍射级的衍射级的实例。 | ||
| 搜索关键词： | 设备 | ||
【主权项】：
1.一种分束设备，被布置成接收输入辐射束并且将所述输入辐射束分离成多个输出辐射束；所述分束设备包括多个反射式衍射光栅，所述多个反射式衍射光栅被布置成接收辐射束且被配置成形成包括多个衍射级的衍射图案，所述反射式衍射光栅中的至少一些被布置成接收形成于所述反射式衍射光栅中的另一个处的0衍射级；其中所述反射式衍射光栅被布置成使得每一输出辐射束的光学路径包括至多一个作为非0衍射级的衍射级的实例。
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