[发明专利]基板移载装置

摘要

基板移载装置具备壳体和基板搬送机器人。壳体，与第一方向X的尺寸相比，第二方向Y的尺寸较大，且具有搬送室、及形成配置于搬送室的第一方向X的至少一侧的至少一个开口的壁。基板搬送机器人，具有基台、机械臂、机械手、及控制器。当将从搬送室除去规定的排他区域的空间规定为有效搬送室时，连杆的连杆全长DL小于搬送室尺寸Dx，且机械手的手全长Dh为有效搬送室尺寸Dx'以上。

主权项

一种基板移载装置，具备：壳体，所述壳体当将某一水平方向规定为第一方向，而将与该第一方向正交的水平方向规定为第二方向时，与所述第一方向的尺寸相比，所述第二方向的尺寸较大，且具有搬送室、及形成配置于所述搬送室的所述第一方向的至少一侧的至少一个开口的壁；和基板搬送机器人，具有配置于所述搬送室的基台、支持于所述基台且由至少一根连杆构成的机械臂、与所述机械臂的手腕部连结且能保持基板的机械手、和控制所述机械臂及所述机械手的动作的控制器；当将从所述搬送室除去规定的排他区域的空间规定为有效搬送室时，所述至少一根连杆的连杆全长小于所述搬送室的所述第一方向的尺寸，且所述机械手的手全长为所述有效搬送室的所述第一方向的尺寸以上。