[发明专利]基于辅助电磁场的引入的一阶散射测量叠对的新方法有效
| 申请号： | 201680051708.7 | 申请日： | 2016-08-18 |
| 公开（公告）号： | CN108027320B | 公开（公告）日： | 2022-10-04 |
| 发明（设计）人： | V·莱温斯基;Y·帕斯卡维尔;Y·卢巴舍夫斯基;A·玛纳森 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/47 | 分类号： | G01N21/47;G01J3/44 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 张世俊 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供计量测量方法及工具，其由固定的照明源照明固定的衍射目标；测量由零阶衍射信号及一阶衍射信号的总和组成的信号；维持所述衍射目标及所述照明源固定的同时，针对所述零与所述第一衍射信号之间的多个关系重复所述测量；及从所述测量总和导出所述一阶衍射信号。照明可为相干的且可在光瞳平面中测量，或照明可为不相干的且可在场平面中测量，在任一情况下，测量所述零与所述一衍射阶的部分重叠。照明可为环形且所述衍射目标可为带有具有不同节距以分离所述重叠区域的周期性结构的单个单元SCOL目标。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 辅助 电磁场 引入 一阶 散射 测量 新方法 | ||
【主权项】：
1.一种计量测量方法，其包括：由固定的照明源照明固定的衍射目标，测量由零阶衍射信号及一阶衍射信号的总和组成的信号，维持所述衍射目标及所述照明源固定的同时，针对所述零与所述第一衍射信号之间的多个关系重复所述测量，及从所述测量总和导出所述一阶衍射信号。
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