[发明专利]微机电装置结构及调节机械振荡的频率的方法有效
| 申请号： | 201680052573.6 | 申请日： | 2016-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN108027241B | 公开（公告）日： | 2021-09-10 |
| 发明（设计）人： | 马库斯·林基奥 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | G01C19/5712 | 分类号： | G01C19/5712;B81B3/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 魏金霞;孟艳华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种微机电装置结构包括支承结构晶片(310)。在支承结构晶片中的腔内形成腔电极(130)。腔电极形成从腔的基部朝向功能层(300)的突出结构，并且腔电极连接至限定电位。腔电极包括在支承结构晶片中的腔内的硅柱，该硅柱部分地或完全地被腔包围。可以使用一个或多个腔电极来调节在功能层内发生的振荡的频率。本发明还涉及一种调节在微机电装置的功能层中的基本上平面的能移动元件的机械振荡的频率的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 装置 结构 调节 机械 振荡 频率 方法 | ||
【主权项】：
1.一种微机电装置结构，至少包括包含第一材料的支承结构晶片；以及功能层，其特征在于具有由与所述第一材料相似的第二材料制成的腔电极，其中，所述腔电极形成在所述支承结构晶片中的腔内，其中，所述腔电极与所述支承结构晶片的至少一部分电连接，并且其中，所述腔电极和所述支承结构晶片的所述至少一部分被配置成连接至限定电位。
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