[发明专利]质量流量控制装置有效
| 申请号： | 201680052615.6 | 申请日： | 2016-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN108027619B | 公开（公告）日： | 2021-03-09 |
| 发明（设计）人： | 园田真志;岸根裕次 | 申请（专利权）人： | 日立金属株式会社 |
| 主分类号： | G05D7/06 | 分类号： | G05D7/06;G01F1/00;G01F15/02 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 执行向流量控制阀输出控制信号来控制阀开度以使由流量计测量的气体的测量流量与设定流量一致的流量控制的控制单元以由温度计测量的气体的测量温度相比于基准温度越高则使阀开度的变更量的绝对值越大的方式调整控制信号的强度，以测量温度相比于基准温度越低则使阀开度的变更量的绝对值越小的方式调整控制信号的强度。由此，能够减少由于气体的测量温度不同于基准温度而引起的流量控制阀的阀开度的变更中的响应时间的变化。 | ||
| 搜索关键词： | 质量 流量 控制 装置 | ||
【主权项】：
1.一种质量流量控制装置，具有：流量控制阀，其构成为能够变更阀开度；流量计，其构成为对通过所述流量控制阀的气体的流量进行测量；以及控制单元，其构成为向所述流量控制阀输出控制信号来控制所述阀开度，其中，所述控制单元构成为执行以下的流量控制：向所述流量控制阀输出所述控制信号来控制所述阀开度，以使由所述流量计测量的所述气体的质量流量即测量流量与被设定为所述气体的质量流量的目标值的设定流量一致，所述质量流量控制装置还具有构成为对所述气体的温度进行测量的温度计，所述控制单元构成为执行输出校正控制信号的信号校正处理，所述校正控制信号是以如下方式进行调整后的控制信号：在由所述温度计测量的所述气体的温度即测量温度高于规定的基准温度的情况下，从所述测量温度减去所述基准温度所得到的差即温度差的绝对值越大，则使所述流量控制中的所述阀开度的变更量的绝对值越大，在所述测量温度低于所述基准温度的情况下，所述温度差的绝对值越大，则使所述流量控制中的所述阀开度的变更量的绝对值越小。
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