[发明专利]固化膜及其制造方法

摘要

本发明提供高伸长性、低应力性、金属铜高密合性的固化膜。本发明的固化膜是将感光性树脂组合物固化而得到的固化膜，其特征在于，所述感光性树脂组合物含有聚羟基酰胺，所述固化膜中的所述聚羟基酰胺的闭环率为10％以下。

主权项

1.固化膜，其是将感光性树脂组合物固化而得到的固化膜，其特征在于，所述感光性树脂组合物含有聚羟基酰胺，所述固化膜中的所述聚羟基酰胺的闭环率为10％以下，所述聚羟基酰胺具有(A)通式(1)表示的结构单元，式(1)中，X¹、Y¹各自独立地表示具有2个以上碳原子的2价～8价有机基团；R¹、R²各自独立地表示氢、或碳原子数为1～20的有机基团中的任意基团；n1表示2～500的整数，p、q各自独立地表示0～4的整数，r、s各自独立地表示0～2的整数，所述聚羟基酰胺具有通式(2)表示的聚醚结构单元，式(2)中，R³～R⁶各自独立地表示碳原子数为1～6的亚烷基；R⁷～R¹⁴各自独立地表示氢、氟、或碳原子数为1～6的烷基；其中，括号内所示的结构彼此不同；x、y、z各自独立地表示0～35的整数。