[发明专利]二次离子质谱仪和二次离子质谱法有效
| 申请号： | 201680052793.9 | 申请日： | 2016-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN108028168B | 公开（公告）日： | 2021-03-30 |
| 发明（设计）人： | 鲁道夫·弗洛斯;埃瓦尔德·尼惠斯 | 申请（专利权）人： | 约恩托福技术有限公司 |
| 主分类号： | H01J49/00 | 分类号： | H01J49/00;H01J49/14;H01J49/10 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 杨贝贝;臧建明 |
| 地址： | 德国明*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种二次离子质谱仪和一种用于分析样品的二次离子质谱分析方法。现有技术中已知大量的二次离子质谱仪。在所述二次离子质谱仪中，尤其感兴趣的是飞行时间二次离子质谱仪(ToF‑SIMS)。 | ||
| 搜索关键词： | 二次 离子 质谱仪 质谱法 | ||
【主权项】：
1.一种二次离子质谱仪，包括：第一一次离子源，用于产生具有短脉冲持续时间的第一脉冲一次离子束，有利地，所述脉冲持续时间≤10ns；第二一次离子源，用于产生第二脉冲一次离子束，其具有的脉冲持续时间为例如50ns至5s，有利地，50ns至500ms，有利地，50ns至500μs；第一TOF-SIMS分析单元，用于对来自样品的由所述第一一次离子源的一次离子脉冲产生的二次离子进行质谱分析；以及第二分析单元，用于对来自样品的由所述第二一次离子源的一次离子脉冲产生的二次离子进行质谱分析。
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