[发明专利]微机械构件、基于微镜的激光系统以及用于监控基于微镜的激光系统的方法

摘要

本发明提供一种用于基于微镜的激光系统的微机械构件，所述微机械构件用于探测入射的激光射束。为此，在微机械构件中，将两个传感器二极管布置在共同的衬底上，其中，两个传感器二极管中的仅一个实施成光电二极管。另外的传感器二极管提供与光入射无关的输出信号。通过比较两个二极管的两个输出信号可以推断出微机械构件中的光入射。

主权项

1.一种微机械构件(1)，其具有：微镜(10)，其与载体衬底(13)耦合；第一传感器二极管(11)，其设计用于提供第一输出信号，所述第一输出信号对应于所述第一传感器二极管(11)处的温度；第二传感器二极管(12)，其设计用于提供第二输出信号，所述第二输出信号对应于入射到所述第二传感器二极管(12)上的光强度；其中，所述第一传感器二极管(11)和所述第二传感器二极管(12)布置在所述载体衬底(13)中。