[发明专利]具有高模量比的聚氨酯化学机械抛光垫有效
| 申请号： | 201680054351.8 | 申请日： | 2016-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN108025420B | 公开（公告）日： | 2020-10-27 |
| 发明（设计）人： | 富琳;马锐;N·斯佩尔;蔡晨智;K·伯格曼 | 申请（专利权）人： | 嘉柏微电子材料股份公司 |
| 主分类号： | B24B37/24 | 分类号： | B24B37/24;B24D11/00;B24D3/32;C08L75/04;C08J5/18 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 邢岳 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了一种化学机械抛光垫，其包含在低温下具有高储能模量且在高温下具有低储能模量的聚氨酯抛光层。举例而言，所公开的垫的实施方案可自25℃下的储能模量与80℃下的储能模量的比率为50或更大的热塑性聚氨酯制造。该热塑性聚氨酯抛光层可进一步任选地具有70或更大的肖氏D硬度、320％或更小的拉伸伸长率、1200MPa或更大的25℃下的储能模量和/或15MPa或更小的80℃下的储能模量。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 高模量 聚氨酯 化学 机械抛光 | ||
【主权项】：
1.化学机械抛光垫，其包含25℃下的储能模量与80℃下的储能模量的比率为50或更大的热塑性聚氨酯抛光层。
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