[发明专利]半挠性敏感质量块

摘要

本发明涉及一种微机电装置，其包括半挠性敏感质量块，该半挠性敏感质量块包括至少一个一级部分、至少一个二级部分和将半挠性敏感质量块的所述至少一个一级部分和所述至少一个一级部分悬挂的至少一个刚性弹簧。当该装置处于其正常操作范围时，刚性弹簧大致使所述至少一个一级部分和所述至少一个二级部分作为单个刚性实体移动。该装置还包括构造成使所述至少一个一级部分停止的至少一个第一止动器结构。半挠性敏感质量块构造成在该装置受到以超出该装置的正常操作范围的力碰撞该装置的冲击时通过所述至少一个刚性弹簧的偏转而变形。在该冲击引起半挠性敏感质量块至少在沿着运动轴线的一个方向上的运动的同时，所述至少一个刚性弹簧还构造成产生回复力，该回复力使半挠性敏感质量块的所述至少一个二级部分被驱动成在与由冲击引起的沿着运动轴线的运动相反的方向上进行回复运动，其中，所述至少一个二级部分在回复运动中的动量进一步使所述至少一个一级部分与第一止动器结构脱离。

主权项

1.一种微机电装置，其特征在于，所述装置包括：基本上平的半挠性敏感质量块，所述半挠性敏感质量块包括至少一个一级部分、至少一个二级部分以及将所述半挠性敏感质量块的所述至少一个一级部分和所述至少一个二级部分联接的至少一个刚性弹簧，所述至少一个刚性弹簧在所述装置处于正常操作范围时大致使所述至少一个一级部分和所述至少一个二级部分作为单个刚性实体移动；至少一个主弹簧，所述至少一个主弹簧联接至所述至少一个二级部分，所述主弹簧将所述半挠性敏感质量块联接至悬挂结构；以及至少一个第一止动器结构，所述至少一个第一止动器结构构造成使所述至少一个一级部分停止；其中，所述半挠性敏感质量块构造成在所述装置受到以超过所述装置的所述正常操作范围的力碰撞所述装置的冲击时通过所述至少一个刚性弹簧的偏转而变形，所述冲击导致了所述半挠性敏感质量块至少在沿着运动轴线的方向上的运动；并且其中，所述至少一个刚性弹簧还产生回复力，所述回复力使所述半挠性敏感质量块的所述至少一个二级部分被驱动成在与由所述冲击导致的沿着所述运动轴线的所述运动相反的方向上进行回复运动，其中，所述至少一个二级部分在所述回复运动中的动量进一步使所述至少一个一级部分与所述至少一个第一止动器结构脱离。