[发明专利]静电卡盘装置

摘要

本发明的静电卡盘装置具备：静电卡盘部，具有载置板状试样的载置面；温度调整用基部，与静电卡盘部的与载置面相反的一侧的面相对地配置；粘接部，将静电卡盘部与温度调整用基部之间进行粘接；及环状的聚焦环，包围载置面的周围，由静电卡盘部、聚焦环、粘接部及温度调整用基部的堤部所包围的空间的体积大于粘接部在使用温度下的体积膨胀量。

主权项

1.一种静电卡盘装置，其具备：静电卡盘部，具有载置板状试样的载置面，且内置有静电吸附用电极；温度调整用基部，与所述静电卡盘部的与所述载置面相反的一侧的面相对地配置；粘接部，将所述静电卡盘部与所述温度调整用基部之间进行粘接；及环状的聚焦环，包围所述载置面的周围，所述温度调整用基部具有载置所述静电卡盘部的平坦部与包围所述静电卡盘部周围的堤部，所述聚焦环在俯视观察时横跨所述静电卡盘部与所述堤部而配设，所述粘接部将所述堤部与所述静电卡盘部的侧面之间进行粘接，所述堤部与所述静电卡盘部之间的所述粘接部的上表面较所述静电卡盘部的上表面及所述堤部配置于更靠下方，形成有由所述静电卡盘部、所述聚焦环、所述粘接部及所述堤部所包围的空间，所述空间的体积大于所述粘接部在使用温度下的体积膨胀量。