[发明专利]光照射装置在审
申请号: | 201680056741.9 | 申请日: | 2016-10-04 |
公开(公告)号: | CN108139619A | 公开(公告)日: | 2018-06-08 |
发明(设计)人: | 桥本和重;新井敏成 | 申请(专利权)人: | 株式会社V技术 |
主分类号: | G02F1/13 | 分类号: | G02F1/13;G02B6/04;G02B6/42;G02F1/1337;F21V8/00 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 刘建 |
地址: | 日本神*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供光照射装置,能够以适当的曝光量对能够以低曝光量曝光的对象物进行曝光。对从光源(11)照射出的光进行导光的导光构件(12)从被供给光源(11)的光的光入射部(11b)朝光射出部(11e)引导光,该光射出部(11e)呈大致带状地设置于工作台的上方且朝工作台照射光。来自光源(11)的光呈大致带状地扩展,因此,从光射出部(11e)朝工作台(21)照射的光变弱。 | ||
搜索关键词: | 光射出部 工作台 光源 光照射装置 照射 导光构件 低曝光量 光入射部 曝光 对象物 曝光量 照射光 导光 | ||
【主权项】:
一种光照射装置,其特征在于,具备:工作台,其供对象物载置;以及光照射部,其具有光源和导光构件,该导光构件对从所述光源照射出的光进行导光,且具有被供给所述光源的光的光入射部、以及呈大致带状地设置于所述工作台的上方且朝所述工作台照射光的光射出部。
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