[发明专利]曝光装置、曝光方法、平面显示器的制造方法、及元件制造方法有效
| 申请号： | 201680057222.4 | 申请日： | 2016-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN108139680B | 公开（公告）日： | 2021-12-07 |
| 发明（设计）人： | 青木保夫 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/68 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 刘杨 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 曝光装置的基板载台装置(20)具备：非接触保持具(32)，将基板(P)的第1区域及在Y轴方向与前述第1区域排列设置的第2区域的至少一部分区域以非接触方式支承；基板载具(40)，在X轴方向不与非接触保持具(32)重叠的位置保持被非接触保持具(32)以非接触方式支承的基板(P)；Y线性致动器(62)及Y音圈马达(64)，使基板载具(40)在Y轴方向相对非接触保持具(32)相对移动；X音圈马达(66)，使基板载具(40)在X轴方向移动；以及致动器，使非接触保持具(32)在X轴方向移动。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光 装置 方法 平面 显示器 制造 元件 | ||
【主权项】：
一种曝光装置，通过光学系将照明光照射于物体，将前述物体相对前述照明光驱动以分别扫描曝光前述物体的多个区域，其具备：第1支承部，将前述多个区域中的第1区域与在第1方向与前述第1区域排列设置的第2区域的至少一部分区域以非接触方式支承；保持部，在与前述第1方向交叉的第2方向不与前述第1支承部重叠的位置保持被前述第1支承部以非接触方式支承的前述物体；以及第1驱动部，在前述第2方向与前述第1支承部分离配置，以前述第2区域的另一部分的区域被前述第1支承部支承的方式，将保持前述物体的前述保持部相对前述第1支承部往前述第1方向驱动。
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