[发明专利]光学元件的评价值计算方法、评价值计算装置以及记录介质

摘要

光学元件的评价值计算方法包含如下步骤：针对光学元件的被检面取得作为与设计值之间的偏差的形状误差；针对各位置(i)而取出、所取得的形状误差中的被包含在如下范围内的值中的权重函数的成分，该范围是以光学元件的各位置(i)为中心且半径(u)的2倍的范围，该半径(u)比有效半径小；以及根据所取出的各位置(i)的权重函数的成分来计算评价值。

主权项

一种光学元件的评价值计算方法，其中，包含如下步骤：针对光学元件的被检面取得作为与设计值之间的偏差的形状误差；针对所述光学元件的各位置i，取出所取得的形状误差中的被包含在如下范围内的值的权重函数的成分，该范围是以各位置i为中心且半径u的2倍的范围，该半径u比有效半径小；以及根据所取出的各位置i的权重函数的成分来计算评价值，使用以位置i为基准的相对位置k，将所述权重函数定义为下式所示的函数W_M[k]，W_M[k]＝k²×N[k]+A(‑u≦k≦u)W_M[k]＝0(k<‑u或者u<k)其中，对于N[k]，0≦N[‑u]，且N[k]在处于‑u≦k≦0的范围时是单调增加的偶函数，A是用于使Σ_kW_M[k]＝0的常数项，对于W_M[k]的二阶导函数W_M”[k]，‑W_M”[0]≦W_M”[‑u]，且W_M”[0]≧0，u是正数。