[发明专利]SiOx过滤单元和用于操作所述SiOx过滤单元的方法在审
| 申请号： | 201680058898.5 | 申请日： | 2016-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN108136306A | 公开（公告）日： | 2018-06-08 |
| 发明（设计）人： | W.布林克曼;S.里夫拉特 | 申请（专利权）人： | 道达尔销售服务公司 |
| 主分类号： | B01D46/00 | 分类号： | B01D46/00;C30B15/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 孙梵 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 法国;FR |
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| 摘要： | 本发明涉及用于Si单晶锭生长的卓克拉尔斯基拉晶仪设备，其包括卓克拉尔斯基拉晶仪(3)、SiOx粉尘过滤器系统(5)、和连接至所述SiOx粉尘过滤器系统(5)下游的真空泵(9)，SiOx粉尘过滤器系统(5)包括：‑至少一个具有如下的第一过滤支路(13)：第一SiOx过滤器单元(15)，其呈现包含于容器(41)中的可更换的过滤器(17)，容器(41)包括容许在过滤器更换期间将容器(41)中的压力提高至大气压的容器阀；用于在过滤器更换期间隔离第一SiOx过滤器单元(15)的第一上游阀(19)和第一下游阀(21)，‑至少一个具有如下的第二过滤支路(23)：第二SiOx过滤器单元(25)，其呈现包含于容器(43)中的可更换的过滤器(27)，容器(43)包括容许在过滤器更换期间将容器(43)中的压力提高至大气压的容器阀；用于在过滤器更换期间隔离第二SiOx过滤器单元(25)的第二上游阀(29)和第二下游阀(31)；第一过滤支路(13)和第二过滤支路(23)平行地设置并且连接至在第一上游阀(19)和第二上游阀(29)上游的共用的第一连接点(33)和在第一下游阀(21)和第二下游阀(31)下游的第二连接点(35)，其中第一过滤支路(13)和第二过滤支路(23)通过用于在所述第一过滤支路(13)和第二过滤支路(23)之间压力平衡的具有针阀(39)的旁通支路(37)连接。 | ||
| 搜索关键词： | 支路 过滤 过滤器单元 过滤器更换 下游阀 粉尘过滤器 上游 过滤器 过滤单元 可更换 连接点 容器阀 拉晶 隔离 旁通支路 压力平衡 单晶锭 真空泵 针阀 平行 生长 | ||
【主权项】：
用于Si单晶锭生长的卓克拉尔斯基拉晶仪设备，其包括卓克拉尔斯基拉晶仪(3)、SiOx粉尘过滤器系统(5)、和连接至所述SiOx粉尘过滤器系统(5)下游的真空泵(9)，SiOx粉尘过滤器系统(5)包括‑至少一个第一过滤支路(13)，其具有：第一SiOx过滤器单元(15)，第一SiOx过滤器单元(15)呈现包含于容器(41)中的可更换的过滤器(17)，容器(41)包括容许在过滤器更换期间将容器(41)中的压力提高至大气压的容器阀；用于在过滤器更换期间隔离第一SiOx过滤器单元(15)的第一上游阀(19)和第一下游阀(21)，‑至少一个第二过滤支路(23)，其具有：第二SiOx过滤器单元(25)，第二SiOx过滤器单元(25)呈现包含于容器(43)中的可更换的过滤器(27)，容器(43)包括容许在过滤器更换期间将容器(43)中的压力提高至大气压的容器阀(47)；用于在过滤器更换期间隔离第二SiOx过滤器单元(25)的第二上游阀(29)和第二下游阀(31)，第一过滤支路(13)和第二过滤支路(23)平行地设置并且连接至在第一上游阀(19)和第二上游阀(29)上游的共用的第一连接点(33)和在第一下游阀(21)和第二下游阀(31)下游的共用的第二连接点(35)，其中第一过滤支路(13)和第二过滤支路(23)通过用于在所述第一过滤支路(13)和第二过滤支路(23)之间压力平衡的具有针阀(39)的旁通支路(37)连接。
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