[发明专利]光学元件特性测定装置

摘要

提供一种同时照射从反射光传感器部的光轴观察时光强度分布呈环状的集束光、以及向被检透镜的中心附近照射的平行光线来测定被检透镜的特性值的装置。提供一种透镜的面偏移量测定装置，其通过对透过被检透镜的环状的集束光、或向被检透镜的中心附近照射的平行光线的聚光点位置进行测定，从而不必使被检透镜旋转，即可测定被检透镜的面偏移量。光学元件特性测定装置具备将光强度分布呈环状的集束光、以及平行光线向被检光学元件照射的环状集束光照射光部，被检光学元件的处于环状集束光照射光部侧的面为表面，表面的相反侧为背面，通过对在被检光学元件的表面或背面反射或透过被检光学元件的光线的强度、或所述光线的光路进行解析，来测定被检光学元件的形状特性。

主权项

1.一种光学元件特性测定装置，其具备环状集束光照射光部，所述环状集束光照射光部将在相对于光轴垂直的平面上光强度分布呈环状的集束光、以及在所述光轴上具有光强度分布的中心的平行光线向被检光学元件照射，所述光学元件特性测定装置的特征在于，/n所述被检光学元件的处于所述环状集束光照射光部侧的面为表面，所述表面的相反侧为背面，/n通过对在所述被检光学元件的所述表面或所述背面反射或透过所述被检光学元件的光线的强度、或所述光线的光路进行解析，来测定所述被检光学元件的形状特性，/n所述光学元件特性测定装置具备：/n反射光检测部，其向所述被检光学元件照射所述环状的集束光，并使在所述被检光学元件的表面产生的第一环状像及在所述被检光学元件的背面产生的第二环状像在受光面成像，生成用于算出所述第一环状像及所述第二环状像的光强度的数据；以及/n处理部，其基于所述光强度相对于所述被检光学元件沿所述光轴方向移动的距离的变化，算出所述被检光学元件的厚度，/n所述被检光学元件为透镜，/n检测基于所述数据的所述第一环状像及所述第二环状像的光强度的变化的两个极大值，并使用与所述两个极大值对应的所述被检光学元件的移动距离之差即测定值d、所述被检光学元件的材料的折射率n、所述被检光学元件的曲率半径r、以及所述曲率半径r的中心点与所述光轴和所述集束光所成的角即所述集束光的聚光角θ