[发明专利]确定样品上所关注图案的一或多个特性

摘要

本发明提供用于确定所关注图案POI的特性的方法及系统。一个系统经配置以获取检验系统在POI实例处产生的输出而不检测所述POI实例处的缺陷。接着使用所述输出以产生所述POI实例的选择。接着所述系统针对所述经选择的POI实例从输出获取子系统获取输出。所述系统还使用从所述输出获取子系统获取的所述输出确定所述POI的特性。

主权项

1.一种经配置以确定样品上所关注图案的一或多个特性的系统，其包括：输出获取子系统，其包括至少一能源及一检测器，其中所述输出获取子系统经配置以将由所述能源产生的能量引导到样品而所述检测器检测来自所述样品的能量且响应于所述检测到的能量产生输出；及计算机子系统，其包括经配置以执行来自存储器媒体的指令的一或多个处理器，其中所述计算机子系统经配置用于：获取由检验系统针对所述样品上的所关注图案的至少大多数实例产生且存储于计算机可读存储媒体中的所述检验系统的输出，其中所述检验系统以低于所述输出获取子系统的分辨率的分辨率获取所述输出，且其中与所述输出的特性无关，所述检验系统存储在所述至少大多数实例处获取的所述输出；选择由所述输出获取子系统产生所述输出的所述至少大多数实例中的一或多者，其中所述选择是基于所述检验系统的所述输出的所述特性而执行；获取由所述输出获取子系统针对所述至少大多数实例中的所述所选择的一或多者产生的所述输出，其中在所述至少大多数实例中的所述所选择的一或多者处获取所述输出的所述输出获取子系统的所述分辨率高于所述检验系统的所述分辨率；及基于所述输出获取子系统在所述至少大多数实例中的所述所选择的一或多者处的所述输出确定所述所关注图案的一或多个特性。