[发明专利]被处理体搬送装置、半导体制造装置及被处理体搬送方法

摘要

一种搬送被处理体的被处理体搬送装置，具有：搬送路径，被处理体在搬送路径中移动；在搬送路径上利用气体使被处理体浮起的气体浮起部；保持通过气体浮起部浮起的被处理体并与被处理体一起在搬送路径上移动的移动保持部；以及位于搬送路径上并具有对被处理体进行规定处理的处理区域的处理区域搬送路径，移动保持部沿着搬送路径的移动方向具有至少两个以上的保持部，各保持部能够在被处理体的移动过程中进行被处理体的保持解除和保持的切换，并进行在处理区域搬送路径中解除保持部对被处理体的保持，在处理区域搬送路径外的搬送路径中进行保持的动作。

主权项

1.一种被处理体搬送装置，所述被处理体搬送装置搬送被处理体，其特征在于，具有：搬送路径，所述被处理体在所述搬送路径中移动；气体浮起部，在所述搬送路径上利用气体使所述被处理体浮起；移动保持部，保持通过所述气体浮起部浮起的所述被处理体，并与所述被处理体一起在所述搬送路径上移动；以及处理区域搬送路径，位于所述搬送路径上，并具有对所述被处理体进行规定处理的处理区域，所述移动保持部至少沿着所述搬送路径的移动方向具有两个以上的保持部，各保持部能够在所述被处理体的移动过程中进行所述被处理体的保持解除和保持的切换。