[发明专利]光罩保持装置、曝光装置、平板显示器的制造方法、器件制造方法、光罩的保持方法以及曝光方法有效
| 申请号： | 201680062678.X | 申请日： | 2016-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN108351597B | 公开（公告）日： | 2021-02-09 |
| 发明（设计）人： | 八田澄夫;白泽正裕;木南贵之;五十岚淑人 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02F1/13;H01L21/683 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 陈伟;闫剑平 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的保持光罩(M)的光罩载台装置(14)具备：支承块(50)，其从下方支承光罩(M)；吸附垫(46)，其具有对由支承块(50)支承且因光罩(M)的自重而挠曲的光罩(M)的面进行保持的保持面，使保持面以沿着挠曲的光罩(M)的面的方式可动并利用保持面保持光罩；和吸引口(46b)，其将挠曲的光罩(M)吸附于保持面。 | ||
| 搜索关键词： | 保持 装置 曝光 平板 显示器 制造 方法 器件 以及 | ||
【主权项】：
1.一种物体保持装置，其保持物体，所述物体保持装置的特征在于，具备：支承部，其从下方支承所述物体；保持部，其具有对由所述支承部支承且因所述物体的自重而挠曲的所述物体的面进行保持的保持面，使所述保持面以沿着挠曲的所述物体的面的方式可动并利用所述保持面保持所述物体；和吸附部，其将挠曲的所述物体吸附于所述保持面。
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