[发明专利]与偏振无关的量测系统有效
| 申请号： | 201680063283.1 | 申请日： | 2016-10-06 |
| 公开（公告）号： | CN108351598B | 公开（公告）日： | 2020-12-08 |
| 发明（设计）人： | K·肖梅;J·L·克勒泽 | 申请（专利权）人： | ASML控股股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王静 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种量测系统包括：产生光的辐射源、光学调制单元、反射器、干涉仪和检测器。光学调制单元将光的第一偏振模式与光的第二偏振模式在时间上分离开。反射器将光朝衬底引导。干涉仪干涉从衬底上的图案所衍射的光或者从衬底所反射的光，并且由干涉产生输出光。检测器接收来自干涉仪的输出光。输出光的第一偏振模式和第二偏振模式在检测器处在时间上被分离开。 | ||
| 搜索关键词： | 偏振 无关 系统 | ||
【主权项】：
1.一种量测系统，包括：辐射源，配置成产生光；光学调制器，配置成将所述光的第一偏振模式与所述光的第二偏振模式在时间上分离开；反射器，配置成将所述光朝衬底引导；干涉仪，配置成接收已经从所述衬底上的图案所衍射的光或者从所述衬底所反射的光，并且由所衍射的光或所反射的光之间的干涉产生输出光；和检测器，配置成接收来自所述干涉仪的输出光，其中，所述输出光的第一偏振模式与第二偏振模式在所述检测器处在时间上被分离开。
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