[发明专利]颗粒监控装置

摘要

实施例包含用于检测晶片处理工具中的颗粒的装置及方法。在实施例中，具有晶片形状因素的颗粒监控装置包含多个微传感器，该多个微传感器能够在所有压力方案中(例如，在真空条件下)操作。颗粒监控装置可包含时钟，以当微传感器的参数响应于接收晶片处理工具的腔室内的颗粒而改变时输出时间值。可使用微传感器的位置或时间值以确定颗粒的来源。同样描述且要求保护其他实施例。

主权项

1.一种颗粒监控装置，包含：基板，所述基板具有支撑表面；微传感器，所述微传感器经安装在所述支撑表面上的预定位置处，其中所述传感器具有参数，且其中当所述微传感器接收在晶片处理工具的腔室内的颗粒时，所述参数改变；时钟，所述时钟经安装在所述基板上，其中所述时钟经配置以输出时间值；以及处理器，所述处理器经安装在所述基板上，其中所述处理器可操作地耦合至微传感器及所述时钟，且其中所述处理器经配置以当所述微传感器的所述参数改变时记录所述预定位置及所述时间值。