[发明专利]使用倾斜物光波和具有菲索干涉仪物镜的干涉仪有效
| 申请号： | 201680064780.3 | 申请日： | 2016-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN108474642B | 公开（公告）日： | 2020-06-05 |
| 发明（设计）人： | 戈兰·贝尔;克里斯托夫·普鲁斯;沃尔夫冈·奥斯滕 | 申请（专利权）人： | 斯图加特大学 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02;G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京友联知识产权代理事务所(普通合伙) 11343 | 代理人： | 尚志峰;汪海屏 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于对光学平滑表面进行平面测量的干涉仪，具有用于利用来自不同方向的多个离散的物光波来照射表面区域的装置，并且具有在探测器上将在表面处反射的物光波叠加至与多个物光波相干的一个参考波以形成干涉图的装置。干涉仪的特征在于，其设置用于同时利用多个物光波来照射表面并且通过Fizeau分束板或者Fizeau物镜产生参考波，并且，干涉仪具有在光路上布置在探测器(14)上游的干涉仪光阑(12)和成像光学件，其中，干涉仪光阑位于成像光学件的傅里叶平面之中或者恰好外侧并且对由表面反射的物光波进行滤波。一个独立权利要求涉及用于对光学平滑表面进行平面测量的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 倾斜 光波 具有 干涉仪 物镜 | ||
【主权项】：
1.一种用于对光学平滑表面进行平面测量的干涉仪，具有用于利用来自不同方向的多个离散的物光波来照射所述表面的待测表面区域的装置，以及用于在探测器上将在所述表面处反射的物光波叠加至与多个物光波相干的一个参考波以形成干涉图的装置，在所述干涉图中反映出所述表面的尺寸，其中，所述干涉仪设置用于同时利用多个物光波来照射所述表面并且通过Fizeau分束板或者Fizeau物镜产生参考波，因此即通过分束从照射所述表面(11)的所述多个离散的物光波中的一个产生参考波，其中，所述干涉仪具有在光路上布置在所述探测器(14)的上游的干涉仪光阑(12)和成像光学件，其中，所述干涉仪光阑位于所述成像光学件的傅里叶平面之中或者恰好在所述成像光学件的傅里叶平面之外并且对由所述表面反射的物光波进行滤波，其特征在于，所述干涉仪具有可切换的点光源的刚性布置，并且所述点光源和所述干涉仪光阑(12)设计成，在每次记录测量值时仅一个参考波前到达所述探测器(14)并且近似完全地照亮所述探测器。
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