[发明专利]流量控制装置以及使用流量控制装置的异常检测方法有效
| 申请号： | 201680064955.0 | 申请日： | 2016-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN108369425B | 公开（公告）日： | 2021-03-02 |
| 发明（设计）人： | 永濑正明;平田薰;泽田洋平;西野功二;池田信一 | 申请（专利权）人： | 株式会社富士金 |
| 主分类号： | G05D7/06 | 分类号： | G05D7/06;G01F1/42;G05B23/02 |
| 代理公司： | 北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙) 11387 | 代理人： | 刘春成;刘春燕 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种利用具备节流部(12)、上游侧的控制阀(18)、上游侧的第一压力传感器(14)、下游侧的第二压力传感器(24)的流量控制装置(10)和下游阀(24)而进行的异常检测方法，包含使控制阀以及下游阀从打开状态变化为关闭状态的步骤、将控制阀以及下游阀维持着关闭状态而测定上游压力以及下游压力的步骤、和(a)抽出上游压力与下游压力之差达到规定值的时刻的上游压力作为上游收敛压力，下游压力作为下游收敛压力的步骤及(b)抽出从使控制阀以及下游阀变化为关闭状态的时刻至上游压力与下游压力之差达到规定值的时刻为止的时间作为收敛时间的步骤之中的至少一方，基于在步骤(a)或(b)中任一步骤所获得的数据与作为基准的值的比较而判断异常的有无。 | ||
| 搜索关键词： | 流量 控制 装置 以及 使用 异常 检测 方法 | ||
【主权项】：
1.一种异常检测方法，所述异常检测方法使用流量控制装置和下游阀，其中，所述流量控制装置具备节流部、设置于所述节流部的上游侧的控制阀、设置于所述节流部的上游侧且所述控制阀的下游侧的第一压力传感器、和设置于所述节流部的下游侧的第二压力传感器，所述下游阀设置于所述第二压力传感器的下游侧，所述异常检测方法包含以下步骤：使所述控制阀以及所述下游阀从打开状态变化为关闭状态的步骤；将所述控制阀以及所述下游阀维持着关闭状态而利用所述第一压力传感器以及所述第二压力传感器来测定上游压力以及下游压力的步骤；和下述的步骤(a)以及步骤(b)中的至少一步骤：(a)抽出所述上游压力与所述下游压力之差达到规定值的时刻或低于所述规定值的时刻的上游压力作为上游收敛压力，下游压力作为下游收敛压力的步骤，(b)抽出从使所述控制阀以及所述下游阀从打开状态变化为关闭状态的时刻至所述上游压力与所述下游压力之差达到规定值的时刻或低于所述规定值的时刻为止的时间作为收敛时间的步骤，其中，基于在所述步骤(a)或所述步骤(b)中任一步骤所获得的数据与作为所述数据的各自基准的值的比较而判断异常的有无。
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