[发明专利]具有改进衬底保持件及门闩锁协助机构的衬底容器有效
申请号: | 201680065404.6 | 申请日: | 2016-09-12 |
公开(公告)号: | CN108475651B | 公开(公告)日: | 2022-10-11 |
发明(设计)人: | A·M·蒂班;C·斯缇克浩斯尔 | 申请(专利权)人: | 恩特格里斯公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L21/677 |
代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人: | 顾晨昕 |
地址: | 美国马*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明揭示一种衬底容器,其具有安装到偏置致动连杆组的衬底保持件及具有闩锁协助的门组合件。本发明揭示用于将所述衬底保持件偏置于衬底非接合位置中的各种配置。所述偏置帮助防止所述衬底保持件归因于摩擦力而意外停机,所述摩擦力可能抵消原本所依赖用来脱离的重力。所述组合件也可包含积极地将所述衬底保持件固定到所述致动连杆组的保持夹。所述闩锁协助提供递送所存储能量以协助将所述门组合件闩锁于所述衬底载体及从所述衬底载体解锁所述门组合件的弹簧。所述闩锁协助进一步提供将所述闩锁机构偏置在解锁或完全闩锁配置中的偏心力。 | ||
搜索关键词: | 具有 改进 衬底 保持 门闩 协助 机构 容器 | ||
【主权项】:
1.一种衬底容器,其包括容器部分,其包含界定开口的门框;门,其经配置以安装在所述门框内;致动连杆组组合件,其包含框架、衬底保持件组合件及心轴,所述心轴经枢转安装到所述框架且安装到所述衬底保持件组合件,所述框架经安装到所述容器部分的内壁,所述衬底保持件组合件可延伸到所述门框的所述开口中,所述致动连杆组组合件可选择性地配置于衬底保持位置中,其中当所述门座落在所述门框内时,所述衬底保持件组合件与所述门接触且由所述门致动,所述致动连杆组组合件可选择性地配置于衬底非保持位置中,其中当所述门不在所述门框内时,所述衬底保持件组合件延伸到所述门框的所述开口中;及偏置部件,其经操作耦合到所述框架、所述心轴及所述衬底保持件组合件中的至少一者,所述偏置部件将所述致动连杆组组合件偏置于所述衬底非保持位置中。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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