[发明专利]用于光掩模背侧清洁的设备及方法

摘要

用于清洁光掩模的设备包括在头部中的转子，其中转子具有包括中心开口的密封板、在中心开口中的弹性掩模密封件、和附接至弹性掩模密封件且适用于移动弹性掩模密封件至开启及关闭位置中的牵拉器。在头部中的马达旋转转子。在头部中的推板移动以操作牵拉器。当在关闭位置中时弹性掩模密封件对光掩模的侧边密封。光掩模的背侧可接着被清洁而不会影响光掩模的图案化的前侧。

主权项

1.一种用于保持光掩模的转子，所述转子包含：密封板，所述密封板具有中心开口；弹性掩模密封件，所述弹性掩模密封件在所述中心开口中，其中所述弹性掩模密封件具有第一侧边、第二侧边、第三侧边和第四侧边；和分别在所述第一侧边、第二侧边、第三侧边和第四侧边处的第一牵拉器、第二牵拉器、第三牵拉器和第四牵拉器，其中所述第一牵拉器、第二牵拉器、第三牵拉器和第四牵拉器各包括分别附接至所述弹性掩模密封件的所述第一侧边、第二侧边、第三侧边和第四侧边的牵拉器框架，且其中各个牵拉器能沿径向方向向外移动，以移动所述弹性掩模密封件至开启位置中，且其中各个牵拉器能沿径向方向向内移动，以移动所述弹性掩模密封件至关闭位置中。