[发明专利]包含四族有机化合物的前驱体组合物及利用它的薄膜形成方法在审
| 申请号： | 201680067477.9 | 申请日： | 2016-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN108603046A | 公开（公告）日： | 2018-09-28 |
| 发明（设计）人： | 李根守;李英敏 | 申请（专利权）人： | 有进科技材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C09D4/00 | 分类号： | C09D4/00;C07F5/06;C07F7/30;C07F7/00;H01L51/00;H01L21/02;H01L21/205 |
| 代理公司： | 北京纽盟知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11456 | 代理人： | 许玉顺 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及前驱体组合物，其包含从有机铝化合物、有机镓化合物及有机锗化合物中选择的任一化合物和四族有机化合物的混合物。 | ||
| 搜索关键词： | 前驱体组合物 有机化合物 有机铝化合物 有机锗化合物 有机镓化合物 薄膜形成 混合物 | ||
【主权项】：
1.一种前驱体组合物，其特征在于，包含从有机铝化合物、有机镓化合物及有机锗化合物中选择的任一化合物和四族有机化合物的混合物。
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