[发明专利]非活性气体的置换方法以及使用非活性气体的置换方法的陶瓷结构体的制造方法

摘要

本发明的非活性气体的置换方法(1)具有：封闭工序(S1)，将蜂窝成型体收容于气体置换室(3a)的室内空间(7a)中并在保持与外部的气密性的状态下进行封闭；减压工序(S2)，将室内空间(7a)减压至预先设定的第一真空压；增压工序(S3)，向减压后的室内空间(7a)中导入氩气(10)，将室内空间(7a)增压至真空压比第一真空压高且真空压比大气压低的第二真空压；再减压工序(S4)，将增压后的室内空间(7a)再减压至第一真空压；以及复压工序，将增压工序(S3)和再减压工序(S4)至少重复两次后，向再减压至第一真空压后的室内空间(7a)中导入氩气(10)，将室内空间(7a)复压至大气压。

主权项

1.一种非活性气体的置换方法，具备：封闭工序，将陶瓷体收容于封闭空间中，并将所述封闭空间在保持与外部的气密性的状态下进行封闭；减压工序，将所述封闭空间减压至预先设定的第一真空压；增压工序，向减压后的所述封闭空间中导入非活性气体，将所述封闭空间增压至第二真空压，所述第二真空压比所述第一真空压高且比大气压低；再减压工序，将增压后的所述封闭空间再减压至所述第一真空压；以及复压工序，在将所述增压工序和所述再减压工序至少重复两次后，向再减压至所述第一真空压后的所述封闭空间中导入所述非活性气体，将所述封闭空间复压至大气压。