[发明专利]一种通过气相沉积方法涂覆一根或多根线材的装置有效
| 申请号： | 201680067966.4 | 申请日： | 2016-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN108350573B | 公开（公告）日： | 2020-09-08 |
| 发明（设计）人： | 埃米利安·布特;西蒙·蒂博;阿德里安·德尔康;塞德里克·德康 | 申请（专利权）人： | 赛峰集团陶瓷 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C16/54 |
| 代理公司： | 中国商标专利事务所有限公司 11234 | 代理人： | 宋义兴;曾海艳 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种使用气相沉积方法涂覆一根或多根线材(2)的装置(1)，所述装置至少包括：处理室(4)，其沿着纵向轴线(X)延伸并包括位于内部圆周壁(5)和外部圆周壁(7)之间的至少一个处理区域(4a)，并且其中至少一根线材(2)旨在使用气相沉积方法进行涂覆；输送器系统，设计成将所述至少一根线材(2)通过所述处理区域(4a)输送；注入器装置，设计成通过设置在所述内部圆周壁(5)或外部圆周壁(7)中的至少一个入口孔(7a)将处理气相(10a)注入所述处理区域(4a)中；排出装置，设计成通过设置在内部圆周壁(5)或外部圆周壁(7)中的至少一个出口孔(8a)将残余气相(11a)从处理区域(4a)排出，所述入口孔(7a)和所述出口孔(8a)位于与处理室(4)的纵向轴线(X)垂直并且围绕处理室(4)的圆周方向(C)偏移的公共平面(P)中。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 通过 沉积 方法 一根 线材 装置 | ||
【主权项】：
1.一种通过气相沉积方法涂覆一根或多根线材(2)的装置(1)，该装置至少包括：‑处理室(4)，其沿着纵向轴线(X)延伸且具有位于内部圆周壁(5)和外部圆周壁(7)之间的至少一个处理区域(4a)，并且其中至少一根线材(2)通过进行气相沉积方法进行涂覆；‑输送器系统(6)，其被配置为通过处理区域(4a)输送所述至少一根线材(2)；‑注入器装置，其被配置为通过设置于内部或外部圆周壁(5或7)中的至少一个入口孔(7a)将处理气相(10a)注入处理区域(4a)中；以及‑排出装置，其被配置为通过设置于内部或外部圆周壁(5或7)中的至少一个出口孔(8a)将残余气相(11a)从处理区域(4a)排出，所述入口孔(7a)和所述出口孔(8a)位于垂直于处理室(4)的纵向轴线(X)并且围绕处理室(4)的圆周方向(C)偏移的公共平面(P)中。
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