[发明专利]微机械的转速传感器和用于制造该微机械的转速传感器的方法有效
| 申请号： | 201680067979.1 | 申请日： | 2016-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN108449950B | 公开（公告）日： | 2021-10-08 |
| 发明（设计）人： | R.诺伊尔;T.奥姆斯;R.莫尔;M.哈塔斯;C.赫普纳;O-A.普吕茨;B.施密特;R.舍本;F.霍伊克 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/5712 | 分类号： | G01C19/5712;G01C19/5747 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 方莉;宣力伟 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及微机械的转速传感器（100），所述微机械的转速传感器具有带旋转振荡轴承（157）的旋转振荡器（140）。所述旋转振荡器（157）包括：摇臂（152）；摇动弹簧棒（154），所述摇动弹簧棒使摇臂（152）与转速传感器（100）的衬底弹性地连接；和两个支承弹簧棒（153），所述支承弹簧棒在摇动弹簧棒（154）的相反侧上使摇臂（152）与旋转振荡器（140）弹性地连接。从另一视角，提供了用于制造这样的微机械的转速传感器（100）的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 转速 传感器 用于 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.微机械的转速传感器（100），其具有带旋转振荡轴承（157）的旋转振荡器（140），所述旋转振荡轴承包括：摇臂（152）；摇动弹簧棒（154），所述摇动弹簧棒使所述摇臂（152）与所述转速传感器（100）的衬底（155）弹性地连接；以及两个支承弹簧棒（153），所述两个支承弹簧棒在所述摇动弹簧棒（154）的相反侧上使所述摇臂（152）与所述旋转振荡器（140）弹性地连接。
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