[发明专利]溶液附着装置及溶液附着方法有效
| 申请号： | 201680068184.2 | 申请日： | 2016-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN108291875B | 公开（公告）日： | 2021-05-07 |
| 发明（设计）人： | 加藤功太 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/64 | 分类号： | G01N21/64 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 庞东成;张志楠 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明能够提供一种溶液附着装置及溶液附着方法，其能够高精度地控制对形成有成为溶液的附着对象的区域的基板的溶液的附着范围。溶液附着装置(100)具备：吐出器具(131)，具有朝向重力方向吐出溶液的吐出口(131A)；及溶液附着控制部(150)，在吐出器具(131)的包括吐出口(131A)的端面(131a)重力方向的下方配置有形成于基板(1)上的金属膜(11)的定位状态下，进行使从吐出口(131A)吐出的溶液附着于金属膜(11)的控制。在定位状态中，在与重力方向垂直的面(G1)上投影了端面(131a)的情况下的第一投影区域(131aX)实质上与在面(G1)上投影了金属膜(11)的情况下的第二投影区域(11X)重合。 | ||
| 搜索关键词： | 溶液 附着 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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