[发明专利]13族元素氮化物结晶基板及功能元件

摘要

结晶基板1包括：由13族元素氮化物结晶形成、具有第一主面2a和第二主面2b的基底层2、以及、设置在基底层的第一主面上的由13族元素氮化物形成的厚膜3。基底层2包含：在第一主面2a与第二主面2b之间贯穿的低载流子浓度区域5和高载流子浓度区域4，低载流子浓度区域5的载流子浓度为10¹⁷/cm³以下，低载流子浓度区域5的缺陷密度为10⁷/cm²以下，高载流子浓度区域4的载流子浓度为10¹⁹/cm³以上，高载流子浓度区域4的缺陷密度为10⁸/cm²以上。厚膜3的载流子浓度为10¹⁸/cm³～10¹⁹/cm³，厚膜3的缺陷密度为10⁷/cm²以下。

主权项

1.一种13族元素氮化物结晶基板，所述13族元素氮化物结晶基板包括：基底层，由13族元素氮化物结晶形成，具有第一主面和第二主面，以及，厚膜，由13族元素氮化物结晶形成，设置在所述基底层的所述第一主面上，其特征在于，所述基底层包含：在所述第一主面与所述第二主面之间延伸的、低载流子浓度区域和高载流子浓度区域，所述低载流子浓度区域的载流子浓度为1×1016/cm3～1017/cm3，所述低载流子浓度区域的缺陷密度为2×106/cm2～107/cm2，所述高载流子浓度区域的载流子浓度为1019/cm3～5×1019/cm3，所述高载流子浓度区域的缺陷密度为108/cm2～5×108/cm2，所述厚膜的载流子浓度为1018/cm3～1019/cm3，所述厚膜的缺陷密度为107/cm2以下。