[发明专利]用于保持基板的保持布置、包括保持布置的载体、采用载体的处理系统和从保持布置释放基板的方法有效
| 申请号： | 201680069177.4 | 申请日： | 2016-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN108291296B | 公开（公告）日： | 2020-12-11 |
| 发明（设计）人： | 西蒙·刘 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/56;C23C16/458;C23C16/54;H01L21/67;H01L21/683;H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 描述了一种用于保持基板(101)的保持布置(100)。保持布置包括主体(110)、粘合布置(130)和传力布置(140)。主体(110)具有由柔性材料组成的第一壁(120)。粘合布置(130)用于附接基板，其中粘合布置(130)提供在第一壁(120)的第一侧(121)上。传力布置(140)用于将力施加到第一壁(120)的第二侧(122)，第二侧(122)与第一壁(120)的第一侧(121)相对。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 保持 布置 包括 载体 采用 处理 系统 释放 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于保持基板(101)的保持布置(100)，所述保持布置(100)包括：主体(110)，所述主体(110)具有由柔性材料组成的第一壁(120)；粘合布置(130)，所述粘合布置(130)用于附接所述基板，其中所述粘合布置(130)提供在所述第一壁(120)的第一侧(121)上；和传力布置(140)，所述传力布置(140)用于将力施加到所述第一壁(120的第二侧(122)，所述第二侧(122)与所述第一侧(121)相对。
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