[发明专利]活性气体生成装置及成膜处理装置

摘要

本发明的目的在于提供能够生成高密度的活性气体的活性气体生成装置。并且，在本发明的活性气体生成装置中，金属电极(201H及201L)形成在电介体电极(211)的下表面上，在俯视时夹着电介体电极(211)的中央区域(R50)互相对置而配置。金属电极(201H及201L)将Y方向作为互相对置的方向。在电介体电极(211)的上表面的中央区域(R50)向上方突出而设置有楔形台阶形状部(51)。楔形台阶形状部(51)形成为随着俯视时靠近多个气体喷出孔(55)中的每个气体喷出孔，Y方向的形成宽度变短。

主权项

1.一种活性气体生成装置，具有：第1电极构成部(1A)；第2电极构成部(2A，2B)，设置在所述第1电极构成部的下方；以及交流电源部(5)，对所述第1电极构成部及所述第2电极构成部施加交流电压，通过基于所述交流电源部的所述交流电压的施加，在所述第1电极构成部及所述第2电极构成部间形成放电空间，并生成使供给到所述放电空间中的原料气体活性化而获得的活性气体，所述活性气体生成装置的特征在于，所述第1电极构成部具有第1电介体电极(111，112)和在所述第1电介体电极的上表面上选择地形成的第1金属电极(101H，101L)，所述第2电极构成部具有第2电介体电极(211，212)和在所述第2电介体电极的下表面上选择地形成的第2金属电极(201H，201L)，由于所述交流电压的施加，在所述第1电介体电极及所述第2电介体电极对置的电介体空间内，所述第1金属电极及所述第2金属电极在俯视时重复的区域被规定为所述放电空间，所述第2金属电极，具有在俯视时夹着所述第2电介体电极的中央区域(R50)互相对置而形成的一对第2部分金属电极(201H，201L)，所述一对第2部分金属电极将第1方向作为电极形成方向，将与所述第1方向交叉的第2方向作为互相对置的方向，所述第1金属电极具有一对第1部分金属电极(110H，110L)，该一对第1部分金属电极(110H，110L)具有俯视时与所述一对第2部分金属电极重复的区域，所述第2电介体电极具备：气体喷出孔(55)，形成于所述中央区域，用于将所述活性气体向外部喷出；以及中央区域台阶部(51)，在所述中央区域向上方突出而形成，所述中央区域台阶部形成为，在俯视时不与所述气体喷出孔重复，随着在俯视时靠近所述气体喷出孔，所述第2方向的形成宽度变短。