[发明专利]包括散热器的流体推动装置在审
申请号: | 201680069872.0 | 申请日: | 2016-02-29 |
公开(公告)号: | CN108367909A | 公开(公告)日: | 2018-08-03 |
发明(设计)人: | G·E·克拉克;M·W·坎比;陈健华 | 申请(专利权)人: | 惠普发展公司;有限责任合伙企业 |
主分类号: | B81B7/02 | 分类号: | B81B7/02;B81B3/00 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 崔幼平;安文森 |
地址: | 美国德*** | 国省代码: | 美国;US |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 一种流体推动装置,其包括塑性化合物、至少部分地由所述化合物围绕的MEMS、及紧邻所述MEMS的散热器以用于将热从所述MEMS传递出去,其中所述散热器至少部分地由所述化合物围绕。 | ||
搜索关键词: | 散热器 流体推动装置 塑性化合物 传递 | ||
【主权项】:
1.一种流体推动装置,其包括具有第一流体通道的塑性化合物结构;嵌入所述化合物中的MEMS,其包括衬底、流体连接到所述第一流体通道的第二流体通道和在所述第二流体通道中的流体推动致动器;以及紧邻所述MEMS的散热器,以用于将热从所述MEMS传递出去,其中所述散热器至少部分地由所述化合物围绕,所述MEMS具有小于2.3毫米的宽度和小于0.8毫米的厚度,并且所述MEMS具有每列每英寸长度至少300个致动器的平均密度。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于惠普发展公司;有限责任合伙企业,未经惠普发展公司;有限责任合伙企业许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201680069872.0/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:中心固定的MEMS麦克风膜
- 下一篇:具有激光激活的吸气剂材料的传感器元件