[发明专利]放射线敏感性树脂组合物、固化膜、图案形成方法、固体摄像元件及图像显示装置有效
| 申请号： | 201680070064.6 | 申请日： | 2016-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN108369377B | 公开（公告）日： | 2022-05-17 |
| 发明（设计）人： | 奈良裕树;青柳薰 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/029 | 分类号： | G03F7/029;G03F7/004;G03F7/027;G03F7/031;G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 薛海蛟 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种灵敏度良好且灵敏度的经时稳定性优异的放射线敏感性树脂组合物、固化膜、图案形成方法、固体摄像元件及图像显示装置。本发明的放射线敏感性树脂组合物包含树脂、具有烯属不饱和键的聚合性化合物、光聚合引发剂、有机溶剂及水，所述放射线敏感性树脂组合物中，光聚合引发剂包含具有选自支链烷基及环状烷基中的至少1种基团的肟酯化合物，相对于放射线敏感性树脂组合物的质量，水的含量为0.1～2质量％。 | ||
| 搜索关键词： | 放射线 敏感性 树脂 组合 固化 图案 形成 方法 固体 摄像 元件 图像 显示装置 | ||
【主权项】：
1.一种放射线敏感性树脂组合物，其包含树脂、具有烯属不饱和键的聚合性化合物、光聚合引发剂、有机溶剂及水，所述放射线敏感性树脂组合物中，所述光聚合引发剂包含具有选自支链烷基及环状烷基中的至少1种基团的肟酯化合物，相对于所述放射线敏感性树脂组合物的质量，水的含量为0.1～2质量％。
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