[发明专利]一种在MEMS装置中形成多个布线层的方法有效
| 申请号： | 201680070114.0 | 申请日： | 2016-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN108602664B | 公开（公告）日： | 2022-11-11 |
| 发明（设计）人： | 罗曼·古铁雷斯;托尼·唐;刘晓磊;王桂芹;马修·恩格 | 申请（专利权）人： | 麦斯卓有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/04 | 分类号： | B81B7/04;B81B5/00;B81B3/00 |
| 代理公司： | 北京高文律师事务所 11359 | 代理人： | 王冬;赵锐 |
| 地址： | 美国加*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于控制MEMS装置的结构特性的系统和方法，包括：将多个孔蚀刻到所述MEMS装置的表面中；其中多个孔包括被确定为MEMS装置提供所需的特定的结构特性的一个或多个几何形状。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 装置 形成 布线 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于控制MEMS装置的结构特性的系统，包括：MEMS装置，包括一个或多个结构；以及设置在所述MEMS装置上的MEMS网格，所述MEMS网格包括蚀刻到所述MEMS装置的表面中的多个孔；其中所述MEMS网格可配置以改变所述MEMS装置的结构特性。
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