[发明专利]用于测量沉积率的测量组件、蒸发源、沉积设备及其方法在审
| 申请号： | 201680070126.3 | 申请日： | 2016-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN108291291A | 公开（公告）日： | 2018-07-17 |
| 发明（设计）人： | 乔斯·曼纽尔·迭格斯-坎波;斯蒂芬·班格特;尤韦·斯库尤勒;海克·兰格拉夫;安德烈亚斯·洛普;汉斯·斯塔夫 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24;C23C14/54;G01B7/06 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 描述一种用于测量已蒸发材料的沉积率的测量组件(100)。测量组件(100)包括：第一振荡晶体(110)，用于测量沉积率；第二振荡晶体(120)，用于测量沉积率；和可移动遮板(140)。可移动遮板(140)经构造以用于阻挡从第一测量出口(151)提供的已蒸发材料，第一测量出口被引导以用于将已蒸发材料提供至第一振荡晶体(110)。另外，可移动遮板(140)经构造以用于阻挡从第二测量出口(152)提供的已蒸发材料，第二测量出口被引导以用于将已蒸发材料提供至第二振荡晶体(120)。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发材料 振荡晶体 沉积率 测量组件 可移动 测量 遮板 第二测量 第一测量 出口 阻挡 沉积设备 方法描述 蒸发源 | ||
【主权项】：
1.一种用于测量已蒸发材料的沉积率的测量组件(100)，包括：第一振荡晶体(110)，用于测量所述沉积率；第二振荡晶体(120)，用于测量所述沉积率；和可移动遮板(140)，其中所述可移动遮板(140)经构造以用于阻挡从第一测量出口(151)提供的所述已蒸发材料，所述第一测量出口(151)被引导以用于将已蒸发材料提供至所述第一振荡晶体(110)；并且其中所述可移动遮板(140)经构造以用于阻挡从第二测量出口(152)提供的所述已蒸发材料，所述第二测量出口(152)被引导以用于将所述已蒸发材料提供至所述第二振荡晶体(120)。
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