[发明专利]用于快速自动确定用于高效计量的信号的系统、方法及计算机程序产品有效
| 申请号： | 201680070555.0 | 申请日： | 2016-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN108291868B | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | A·吉里纽;A·库兹涅佐夫;J·亨奇 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/21 | 分类号： | G01N21/21;G01N21/01 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 张世俊 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于选择将利用计量工具而测量的信号的系统、方法及计算机程序产品，所述计量工具优化所述测量的精度。技术包含模拟用于测量计量目标的一或多个参数的信号集合的步骤。产生对应于所述信号集合的正规化雅可比矩阵，基于所述正规化雅可比矩阵来选择所述模拟信号集合中的信号子集，所述信号子集优化与测量所述计量目标的所述一或多个参数相关联的性能度量，且利用计量工具来收集所述计量目标的所述信号子集中的每一信号的测量。对于由所述计量工具收集的给定数目个信号，与收集遍及一系列过程参数均匀地分布的信号的常规技术相比，此技术优化此类测量的精度。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 快速 自动 确定 高效 计量 信号 系统 方法 计算机 程序 产品 | ||
【主权项】：
1.一种方法，其包括：经由执行模拟器模块的处理器来模拟用于测量计量目标的一或多个参数的信号集合；产生对应于所述信号集合的正规化雅可比矩阵；基于所述正规化雅可比矩阵来选择所述模拟信号集合中的信号子集，所述信号子集优化与测量所述计量目标的所述一或多个参数相关联的性能度量；及利用计量工具来收集所述计量目标的所述信号子集中的每一信号的测量。
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