[发明专利]磁检测装置及其制造方法

摘要

提供一种通过在形成于基板的凹部的倾斜侧面形成磁阻效应元件来检测X－Y－Z方向的各方向的磁的磁检测装置及其制造方法。在Z检测部(10)，在Z检测凹部(11A、11B)的倾斜侧面(13、14)设置有磁阻效应元件(40(R1、R2、R3、R4))，在X检测部(20)，在X检测凹部(21A、21B)的倾斜侧面(23、24)设置有磁阻效应元件(40(R5、R6、R7、R8))，在Y检测部(30)，在Y检测凹部(31A、31B)的倾斜侧面(33、34)设置有磁阻效应元件(40(R9、R10、R11、R12))。各个磁阻效应元件(40)的固定磁性层的固定磁化(P)被决定为实线的箭头所示的方向。

主权项

1.一种磁检测装置，具有：基板，具有凹部；以及磁阻效应元件，设置于上述凹部的倾斜侧面，上述磁检测装置的特征在于，上述凹部具有相互对置且随着趋向基板表面而对置间隔逐渐扩大的第1倾斜侧面和第2倾斜侧面，在上述第1倾斜侧面和上述第2倾斜侧面设置有磁阻效应元件，上述磁阻效应元件具有：固定磁性层；自由磁性层；以及形成在上述固定磁性层与上述自由磁性层之间的非磁性中间层；上述固定磁性层形成为自钉扎构造，该自钉扎构造具有第1强磁性层、与上述非磁性中间层相接的第2强磁性层、以及由上述两个强磁性层夹持的中间层，在上述第1强磁性层和上述第2强磁性层，磁化被反向平行地固定，关于各个上述磁阻效应元件，由上述第2强磁性层的磁化的方向决定的灵敏度轴被设定为沿着上述倾斜侧面且朝上述基板的厚度方向倾斜，上述磁阻效应元件中的、上述灵敏度轴的方向在上述基板的板厚方向相互为相反方向的上述磁阻效应元件串联连接而构成元件列，两列上述元件列并联连接而构成电桥电路。